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光譜系統(tǒng)
顯微缺陷膜厚
高速相位差測量裝置 RE-200
● 可測從0nm開始的低(殘留)相位差● 光軸檢出同時可高速測量相位差(Re.)(相當于世界jie最zui快速的0.1秒以下來處理)● 無驅動部,重復再現(xiàn)性高● 設置的測量項目少,測量簡單● 測量波長除了550nm以外,還有各種波長● Rth測量、全quan方位角測量(需要option的自動旋轉傾斜治具● 通過與拉伸試驗機組合,可同時評價膜的偏光特性和光弾性(本系統(tǒng)屬特注。)
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● 什么是RE-200
● RE-200是光子結晶素子(偏光素子)、CCD相機構成的偏光計測模塊和透過的偏光光學系相組合,可高速且高精度的測量位相差(相位差)、及主軸方位角。CCD相機1次快門獲取偏光強度模式,沒有偏光子旋轉的機構,系統(tǒng)整體上是屬于小型構造,長時間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
執(zhí)行擬合/傅立葉變換以計算橢圓度 ε 和方位角 γ。
型號 | RE series |
---|---|
樣品尺寸 | 最小10×10mm ~最大100×100mm |
測量波長 | 550nm (標準仕樣)※1 |
相位差測量范圍 | 約0nm ~約1μm |
軸檢出重復精度 | 0.05°(at 3σ) ※2 |
檢出器 | 偏光計測模塊 |
測量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素燈或 LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、約20kg |
Option
● Rth測量、全quan方位角測量※治具本體(旋轉:180°, 傾斜:±50°)
● 動旋轉傾斜治具
視角改善膜A
視角改善膜B
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