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顯微分光膜厚儀采用檢量線法和FP法,可防止在對焦時造成的損壞

更新時間:2023-02-06點擊次數(shù):925
  顯微分光膜厚儀利用光學(xué)干涉儀和自有的高精度分光光度計,實現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學(xué)干涉測量法是一種使用分光光度計的光學(xué)系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學(xué)膜厚的方法。以涂在金屬基板上的薄膜為例,從目標(biāo)樣品上方入射的光被薄膜表面(R1)反射。此外,穿過薄膜的光在基板(金屬)和薄膜界面(R2)處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學(xué)干涉現(xiàn)象,并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學(xué)干涉法。
  

 

  顯微分光膜厚儀的作用特點:
  
  1、自動對焦作用。配備激光自動對焦作用,能夠準(zhǔn)確對焦,提高量測效率。
  
  2、具有焦點距離切換作用,適用于有凹凸的機器部件與電路板的底部進行量測
  
  3、膜厚儀采用檢量線法和FP法,兩個準(zhǔn)直器可自動切換,采用激光自動對焦,并配備有Z軸防沖撞傳感器,可防止在對焦時造成的損壞。
  
  4、選用Mo靶材X射線管,量測貴金屬更靈敏。
  
  5、膜厚儀支持多種語言的軟件系統(tǒng)。簡體中文、繁體中文、英語、日語、韓語
  
  6、搭載樣本尺寸的兼容性可適用于各種樣本,能夠通過一臺儀器量測,從電子部件、電路板到機器部件等高度較高的樣本,從較厚的樣本(機器零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等
  
  7、鹵素?zé)粽彰?/span>
  
  8、即時生成量測報告的便捷性。運用搭載的MicrosoftWord,Excel可以簡單輕松得到制作報告
  
  9、多種修正作用?;男拚?、已知樣本修正、人工輸入修正
  
  10、膜厚儀搭載了電動X-Y移動平臺
  
  顯微分光膜厚儀廣泛應(yīng)用于各種薄膜、涂層光學(xué)常數(shù)(nandk)和厚度的精確測量,設(shè)備分為在線和離線兩種工作模式,操作便捷,幾秒鐘內(nèi)即可完成測量和數(shù)據(jù)分析,USB連接計算機控制;薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān),因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù),我們的薄膜測量系統(tǒng)采用光干涉原理測量薄膜厚度。

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